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  • 光学镀膜机

HO-1100DBI真空光学镀膜机

特色 ■60点/80点式光学膜厚监控 ■操纵平均散布的高离子电流密度的离子源 ■搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上 ■操纵主动蒸镀节制体系完成全主动蒸镀进程 ■工件架可挑选钟

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产物特色:
■60点/80点式光学膜厚监控
■操纵平均散布的高离子电流密度的离子源
■搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
■操纵主动蒸镀节制体系完成全主动蒸镀进程
■工件架可挑选钟罩式或行星式
■排气体系可挑选分散泵+高温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

操纵范畴:
光学镀膜机合适镀制多种光学膜。如千里镜、汽车、眼镜片、车载仪表盘、平板电脑、光学镜头、寒光杯等,设置装备摆设差别的蒸起源及膜厚仪,可镀制多种膜系,对金属、氧化物、化合物及其余高熔点膜材皆可蒸镀,并可在玻璃外表镀超硬膜。


型号 HO-1100DBI
真空室 SUS304, φ1100mm×1520mm (H)
工件架 φ 950mm
工件架转速 10 rpm to 50 rpm (可变)
光学膜厚节制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长规模:350nm to 1100nm
反射式/透射式可选
水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器
蒸起源 电子枪2套
离子源 17cm RF 离子源
排气体系 机器泵+2个分散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
到达压力 7.0 × 10-5Pa以下
排气时候 15 (大气压 1.3×10-3Pa)
排气时候 大气压至1.5×10--3Pa≤30min
基板温度 最高:350℃
尺寸 5000mm (W)×6000mm (D)×3300mm (H) approx.
电源  3相,200v,50/60Hz, 约100KVA
水流量 120升/分以上
氛围压力 0.5MPa 以上
分量 约7200kg

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