

HO-900DBI真空光学镀膜机
产物操纵:合适在玻璃、塑料等资料质的工件上镀制多层光学膜:如增透膜、高反膜、滤光膜或黑色装潢膜等,也合适在手机屏、平板电脑屏上镀AF、AS膜。
特色
■60点/80点式光学膜厚监控
■操纵平均散布的高离子电流密度的离子源
■搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
■操纵主动蒸镀节制体系完成全主动蒸镀进程
■工件架可挑选钟罩式或行星式
■排气体系可挑选分散泵+高温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
操纵范畴:
快乐飞艇蔚嘿:光学镀膜机合适镀制多种光学镜头、汽车、电子产物、亚克力、相机、玻璃、灯具、手机屏幕、眼镜片、舞台灯光等,可镀制增透膜、滤光片、幻彩、红五彩、红、黄、绿、蓝等七彩色彩,可镀制多种膜系,对金属、氧化物、化合物及其余高熔点膜材皆可蒸镀,并可在玻璃外表镀超硬膜。
型号 | HO-900DBI |
真空室 | SUS304, φ900mm×1300mm (H) |
工件架 | φ 790mm |
工件架转速 | 10 rpm to 30 rpm (可变) |
光学膜厚节制 |
HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪 波长规模:350nm to 1100nm 反射式/透射式可选 |
水晶式膜厚计 | XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸起源 | 电子枪2套 |
离子源 | 10cm RF 离子源 |
排气体系 | 机器泵+1个分散泵+Polycold(或1个冷凝泵) |
到达压力 | 7.0 × 10-5Pa以下 |
排气时候 | 15分 (大气压 1.3×10-3Pa) |
排气时候 | 大气压至1.5×10--3Pa≤30min |
基板温度 | 最高:350℃ |
尺寸 | 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx. |
电源 | 3相,200v,50/60Hz, 约80KVA |
水流量 | 80升/分以上 |
氛围压力 | 0.5MPa 以上 |
分量 | 约5400kg |
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